レーザを用いたサブミクロン寸法計測
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概要
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A system for measuring submicron size less than 1 μm has been developed by Citizen Watch Co., Ltd. Laser beam is split into two beams by an acousto-optical device. The two beams are forcused into a microspot diameter and scanned on the sample. Then, from the patterns of intensity and the extreme intensity of the detected beam reflected from the sample, fine measurement can be obtained. By splitting the beam into two beams, the light intensity distribution of the microspot focused laser beam can be freely adjusted and set to a probing beam whose measuring sensitivity is higher depending on the object to be measured. The size up to 0.3 μm is able to be measured with a good linearity and repetitive stability of ±0.01 μm. This system is practical for full automatic on-line measurements on production lines.
- 社団法人日本時計学会の論文
- 1989-06-20
著者
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