無転位シリコン単結晶のswirl欠陥のX線トポグラフィー

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1975-10-27

著者

• 高須 新一郎

  Semi

• 安阿彌 繁

  東芝総研 東芝トランジスタ

• 荻野 正信

  東芝総研 東芝トランジスタ

• 高須 新一郎

  東芝総研 東芝トランジスタ

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