選択成長における高濃度ドーピングの影響 : 気相成長

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1990-07-20

著者

• 大下 祥雄

  Necシリコンシステム研究所

• 大下 祥雄

  日本電気・マイクロエレクトロニクス研

• 北島 洋

  日本電気・超LSI開発本部

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