Thermographyによる引上げ結晶の熱歪評価

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1988-07-10

著者

• 福田 承生

  東北大金研

• 細谷 正一

  東北大金研

• 吉原 直武

  東北大金研 Nkk中研

• 上杉 基

  東北大金研 NKK中研

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