CVD炭化ケイ素膜の形態と作製条件 : 薄膜成長

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1985-07-05

著者

• 金子 聡

  東理大・理

• 江口 徹

  東大

• 江口 徹

  東理大・理

• 江口 徹

  東京大学理学部物理学教室

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