3p-P-1 CVD炭化ケイ素膜の形態と作製条件

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-09-10

著者

• 金子 聡

  東理大・理

• 江口 徹

  東大

• 金子 聡

  東理大理

• 江口 徹

  東理大理

• 江口 徹

  東京大学理学部物理学教室

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