1154 超音速自由噴流場における多原子分子回転緩和過程の分光計測
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概要
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The chemical vapor deposition (CVD) process plays an important role in the rapid improvement of the semiconductor technology, but the thermo-fluid structures are not investigated experimentally enough so far. A coherent anti-Stokes Reman scattering (CARS) spectrometer combined with a supersonic free jet generator was built to investigate the rotational relaxation in the supersonic free jet of methane in the expansion region. Before the experiment, we calculated the CARS spectra of the ν_3 vibration to determine the required laser resolution and to acquire the information of the spectrum. A detailed description of the experimental apparatus and the calculated CARS spectra of several rotational temperatures are reported.
- 2002-09-20
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