1005 UBMS法によるDLC膜の機械的特性(オーガナイズドセッション : 表面改質材の機械的安全性保証)
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概要
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This report have revealed the mechanical characteristics of Diamond-like carbon (DLC) films by Unbalanced magnetron sputtering. The quality of films measured by nano-indenter, AFM and tribological tester.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-09-20
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