121 低圧管内における誘導及び非誘導加熱物体からの熱伝達(熱移動II)
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概要
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This study aims at elucidation of mechanism of phenomena such as diffusion and adsorption at the surface of sample under plasma nitridation. The heat transfer characteristic from the heating cylinder put in nonequilibrium plasma was examined, and it was compared with the heat transfer characteristic in rarefied gas flow under non-plasma state. Whether the temperature of the weakly ionized plasma gas is accurately measurable by the thermocouple and how the existence of the space charge layer (sheath) affected the temperature measurement by means of thermocouples, were examined.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-06-23
著者
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