712 超伝導磁気浮上搬送装置の開発
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概要
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Pure environments without any very small dusts in chambers of semiconductor devices are needed for high density VLSI process. For these devices, we propose a new transportation conveyer of wafers in a vacuum using superconducting magnetic levitation. This system is characterized by making wafers levitate and reducing wafer vibrations. This paper describes simulation results and experimental ones for the new system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-03-14
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