2P2-47-070 電磁駆動型リニアマイクロアクチュエータの試作
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概要
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半導体製造プロセスを用いて作製した薄膜コイルアレイからなるステータと永久磁石を組み込んだ可動子とからなるリニアマイクロアクチュエータに関して述べる。主な内容は本アクチュエータの試作および駆動特性に関してである。駆動特性として, アクチュエータの静特性および動特性に関して定量的評価を行っている。このタイプのアクチュエータの定量的評価を行った例は殆ど無い。
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