524 窒化アルミニウムを用いた圧電薄膜共振子の有限要素解析
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概要
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This paper describes the results of finite element analysis for the piezoelectric resonator using alminum nitride. Thickness shear mode resonators using alminum nitride are simulated. The results show the correlation between the resonator's width and the resonant frequency. As a result, we can design the resonators not to cause the coupling with spurious.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-10-30
著者
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森分 博紀
松下電子部品(株)セラミック事業部
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森分 博紀
松下電子部品
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森分 博紀
松下電子部品(株)開発技術センタ-
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佐々木 幸紀
パナソニックエレクトロニックデバイス
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佐々木 幸紀
松下電子部品株式会社
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伊藤 守
松下電子部品
-
佐々木 幸紀
松下電子部品
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