自由分子流域における傾斜基板のカバレジ 〔熱工学, 内燃機関, 動力など〕
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概要
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The step coverage in the free molecular vapor deposition is investigated using Monte Carlo simulation method. The deposition growth model on the square lattice is presented to take into account the surface diffusion of deposited particles. It is shown that the surface diffusion has an important effect on the step coverage. The step coverage on the inclined substrate is also studied by the Monte Carlo simulation method. It is found that the step coverage decreases with increasing inclination. Irrespective of the inclination, the well-covered deposits is formed by increasing the surface diffusion.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1998-04-25
著者
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