境界要素法による自由分子流解析
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概要
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A numerical method for calculating free molecular flows is developed. An integral equation for the mass flux of incident molecules on walls is used. The integral equation is solved by using the boundary element method. The advantage of the present method over Monte Carol calculation is that results are noise free and there are no sampling errors. As examples of practical engineering applications, the flows in a vacuum vapor deposition chamber and a cryopump are studied. The desired results can be obtained with limited computation time.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1992-04-25
著者
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