Siウエハスライシング用内周刃工具の刃部変位の均一化
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概要
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ドーナッツ形の薄刃工具の切削性と寿命の向上を目指し、材料異方性に起因すうる内周刃部の不均一変形を解消した新形ブレード形状を提案した。すなわち、ブレード面内の同一ピッチ円周上に16個の偏心小円孔をせん(穿)設し、それら小円孔径を設計変数にとり、有限要素法と数理計画法を用いて刃部変位の均一化を計った結果、縦弾性係数の低い素材圧延方向からピッチ円周に沿って圧延直角方向に小円孔径が順に小さくなる特異な形状を得た。
- 1984-03-25
著者
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