SQUID磁束計を用いた非破壊計測システム : 非磁性体ステージと磁気シールド材評価
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概要
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A nondestructive evaluation (NDE) system using a highly sensitive magnetic sensor, the SQUID (superconducting quantum interference device) magnetometer is developed. The system is composed of a SQUID magnetometer, a gantry which supports the SQUID dewar, a nonmagnetic rodless cylinder used to drive a stage for scanning a specimen under the SQUID magnetometer and a magnetically shielded room. First, the supply pressure condition for driving the stage at a low, constant speed is determined. Secondly, stainless steel bolts considered to be non magnetic are measured using the system and it is confirmed that the bolts contain a very small amount of magnetic material. Thirdly, the change in the permeability of a permalloy plate due to torque stress is detected using the system. From these results, it is confirmed that the system has a high sensitivity and spatial resolution.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1996-10-25
著者
-
中山 哲
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)
-
山崎 慶太
(株)竹中工務店
-
小田原 成計
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
-
小田原 成計
セイコー電子工業(株)
-
中山 哲
セイコー電子工業(株)
-
茅根 一夫
セイコー電子工業(株)
-
小田原 成計
セイコーインスツルメンツ
-
茅根 一夫
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
-
山崎 慶太
(株)竹中工務
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