タンタル酸リチウム薄膜の湿式作製とその感湿素子としての利用
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1987-05-01
著者
-
山本 達夫
静岡大学電子工学研究所
-
井本 文夫
静岡大学工学部工業化学科
-
七滝 努
静岡大学工学部工業化学科
-
塩崎 克幸
静岡大学工学部工業化学科
-
岩本 仁志
静岡大学工学部工業化学科
-
井本 文夫
静岡大学工学部
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