塗膜熱分解法によるジルコニア薄膜の作製
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概要
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オクチル酸ジルコニウムの塗膜熱分解法によってジルコニア薄膜を作製し, オクチル酸ジルコニウムとオクチル酸イットリウムから安定化ジルコニア薄膜を作製した. 膜の生成過程を調べるため, TG-DSC, DTA, X線回折, SEM観察を行った. 熱分解によって得られたジルコニアは正方晶と単斜晶の両方からなり, 結晶構造は焼成温度や焼成時間に影響される. 同様に, スパッター法によって作製した安定化ジルコニア膜のうえに, 塗膜熱分解法によって安定化ジルコニア膜を作製した. 作製した膜は固体電解質としての特性を観察した. 酸素濃淡電池法による起電力測定の結果, 膜はスパッター法による膜の5倍高い値を示した. これらの結果, 本方法は燃料電池やセンサーの固体電解質薄膜製造技術として有効であると考えられる.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1985-09-01
著者
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