粗加工した窒化ケイ素表面へのポリマー熱分解法によるセラミック被膜形成

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概要

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• The experimental results obtained in this study demonstrated the feasibility of improving the bending strength of rough-ground Si_3N_4 coated with polymer ceramic precursors and subsequently pyrolyzing the polymer coating. Double coating with 10 mass% polycyclomthylsilazane solution provided the smooth surface, while microcracks were still existence. Increase in the strength of 150MPa was achievable via polymer coating and pyrolyzing while the improvement in the strength variation in terms of the Weibull modulus was insignificant.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 2005-05-01

著者

• 吉田 克己

  (独)産業技術総合研究所

• 北 英紀

  独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門高温部材化プロセス研究グループ

• 吉田 克己

  産業技術総合研究所

• 北 英紀

  産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門

• 北 英紀

  (株)いすゞ 中央研究所 基盤技術研究部

• 曽 宇平

  産業技術総合研究所

• 大角 和生

  (株)いずゞ中央研究所

• 大角 和生

  (株)いすゞ 中央研究所 基盤技術研究部

• 北 英紀

  (独) 産業技術総合研究所

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