接合法による積層型圧電素子の作製 : 物性・応用
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概要
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Multilayer piezoelectric actuator was manufactured the bonding method. This method had the advantage of low cost, since silver can be used for internal electrode. The bonding condition of 900℃ between electrode and piezoelectric ceramics was suitable for the desired mechanical strength and electrical characteristics. This multilayer piezoelectric actuator was characterized by the high K_<33>, and by displacement of 2.5 μm at 100 V, which was in good agreement of original ceramics in itself.
- 1990-08-01
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