Y_2O_3助剤での窒化アルミニウムの焼結に及ぼす酸素量の影響
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概要
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Aluminium llitride (AIN) powders with 0 1.2 mass% of carbon and 5 mass% of Y_20_3 addition were sintered at 2023 and 2073 K under a nitrogen atmosphere, and the sintered samples were characterized by their oxygen content, composition of the secondary phase, micro structure, density, and thermal conductivity. With an increase of carbon addition, the oxygen content decreased linearly and the secondary phase changed from aluminium rich to yitrium rich. The microstructure, density and thermal conductivity of the sintered samples were also found to depend strongly on the oxygen content. The correlation between the oxygen con tent and the sintering behavior of AIN with Y_20_3 sintering aid has been discussed.
- 1995-01-01
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