コンデンサー内蔵多層セラミックスのマイクロ波焼成
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概要
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The feasibility of microwave sintering of multilayer ceramics containing capacitor was examined. Simultaneous sintering of ceramic substrates, metallic electrodes and a dielectric layer was peformed at low temperature and short soaking time by microwave. Higher dielectric constant and smaller deformation were observed in the dielectric layer and substrates, respectively, as compared with the conventional process. Moreover, a dielectric constant more than 6000 was obtained by using electrodes with Cs additive. It was confirmed that diffusion of glass elements into the dielectric layer and Ag diffusion into the substrates were repressed by the Cs additive in electrodes and microwave sintering.
- 2000-02-01
著者
-
則竹 達夫
豊田中研
-
長谷川 英雄
豊田中研
-
長谷川 英雄
株式会社豊田中央研究所
-
福島 英沖
(株)豊田中央研究所
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則竹 達夫
(株)豊田中研
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長谷川 英雄
(株)豊田中央研究所材料分野
-
福島 英沖
(株)豊田中央研究所生産加工研究室
-
福島 英沖
(株)豊田中央研究所光材料研究室
-
則竹 達夫
(株)豊田中央研究所光材料研究室
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