27a-SB-1 高周波スパッタ堆積法により作られた非晶質SiO_2の構造
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1983-03-11
著者
-
鈴木 謙爾
特殊無機材料研究所
-
福永 俊晴
京大原子炉
-
鈴木 謙爾
東北大学金属材料研究所
-
鈴木 謙爾
東北大学
-
渡辺 昇
高工研
-
渡辺 昇
高エネルギー研
-
三沢 正勝
High Energy Accelerator Research Organization (kens)
-
小林 義文
東北大学
-
三沢 正勝
東北大学
-
福永 俊晴
新技術開発事業団
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