シリコン氣相成長への電界の影響I : 応用半導体

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1964-03-31

著者

• 小宮 祥男

  電試田無

• 垂井 康夫

  電試田無

• 手島 寛郎

  電試田無

• 鮫島 宗光

  多摩電氣

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