30a-S-9 単原子層不純物のスパッタリングに対する反跳注入及び衝突混合の効果

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1986-09-12

著者

• 森田 健治

  名大工

• 堀野 裕治

  名大工

• 堀野 裕治

  大工試

• 近藤 憲二

  名大工

• 生越 晴茂

  名大工

• 森井 啓之

  名大工

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