12p-DF-6 Double Hollow Cathode放電を用いた大口径プラズマの生成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1983-09-13
著者
関連論文
- 大容積プラズマ生成 : プラズマ物理
- 2p-A-10 電子注入に伴うrf放電プラズマの空間電位構造とイオンエネルギーの制御
- 14a-DG-9 電子注入に伴う高周波放電プラズマの特性変化
- 2a-E-3 非マックスウエル速度分布をもつイオンの速度分布測定法
- 29p-XH-6 回転プラズマ銃の駆動特性に及ぼすメッシュの効果
- 強磁場(3T)でのJ×B駆動回転プラズマの発生と同位体分離
- レーザー共鳴イオン化生成プラズマの磁場を横切る流れ
- 28p-YX-11 レーザー共鳴イオン化生成プラズマ流の磁場による膨張の抑制
- 3p-W-10 レーザー共鳴イオン化生成プラズマ流の垂直磁場中での減速
- フラーレン-アルゴンプラズマの特性 : フラーレン膜形成
- 29p-YC-7 フラーレン混合プラズマの特性 : イオン種の測定
- 25pB-4 アークプラズマ制御のフラーレンベースナノ構造創成への効果
- 26aB7 プラズマ制御によるフラーレンベースのナノ構造創成(ヘリカル/プラズマ応用)
- 29p-XH-1 プラズマ制御によるSi-フラーレン複合物質の創製
- 23aXF-5 ECR放電によるフラーレンプラズマの基礎特性
- 26pB18p ECR放電を用いたフラーレンプラズマの生成(ヘリカル/プラズマ応用)
- 26aB20P 高周波フラーレンプラズマを用いたDLC薄膜の低温合成(プラズマ基礎・応用)
- 26aB19P フラーレンオープンシステムの改良に伴う高密度フラーレンプラズマの生成(プラズマ基礎・応用)
- 2p-A-3 アークプラズマ法によるフラーレン合成の高収率化 (2) : 陰極材質とプラズマの効果
- 14p-DG-8 アークプラズマ法による高収率フラーレン合成装置の開発
- 28aB49P プラズマ中孤立高周波電場近傍におけるプローブの電圧-電流特性(計測)
- 26aB03P プラズマイオン注入における2次元トレンチ内イオン挙動のPICシミュレーション(プラズマ基礎・応用)
- 26aB02P プラズマイオン注入における正パルスバイアス法の提案とイオンエネルギー(プラズマ基礎・応用)
- 23aXF-4 基板入射する今イクロトロンイオンの選択的エネルギー制御 : イオンフラックスの測定
- 12p-DF-6 Double Hollow Cathode放電を用いた大口径プラズマの生成
- 29a-T-12 Hollow Cathode - PIG 放電の特性
- 7p-J-15 回転プラズマを用いた質量分離実験(II)
- 4a-C-4 回転プラズマを利用した遠心分離実験
- 31a-WA-11 回転プラズマの膨張と不安定構造の発展
- 14p-N-9 JxB駆動回転プラズマにおける回転速度の分布とスケール則
- 23aXF-3
- 23aXF-2 プラズマイオン注入における電極シースの挙動とパルス波形
- 23aXF-1 導電性メッシュを通過する回転プラズマ内の電流分布と回転速度
- 2a-F-1 高速回転プラズマの生成
- 12p-DF-5 非平衡状態における気体中イオンのエネルギー分布
- 28p-YX-12 プラズマアンジュレーターの予備実験
- 25pB16p 磁場中混合プラズマからの基板入射イオンに及ぼす電極近傍回転電場の効果(ヘリカル/プラズマ応用)
- 13a-M-4 非磁化回転プラズマにおけるドリフト不安定性とスパイラル構造の発展
- 仕事関数
- カソードフォール(陰極降下)
- 31p-YQ-5 パルス変調型rf混合プラズマ中のイオンエネルギ分布
- 28p-G-8 プラズマ遠心分離法による同位体分離
- 13a-M-3 回転電場によるプラズマの径方向密度分布制御
- 2a-NY-4 逆転磁場をもつミラー磁場中のプラズマの不安定性
- 2p-H3-1 回転プラズマ流の伝搬と巨視的不安定性(プラズマ物理・核融合(ミラー磁場,マイクロ波他))
- 31p-YM-15 回転プラズマと中性気体との相互作用(31pYM プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎),プラズマ物理・核融合)
- 1a-YN-8 発散磁場での回転プラズマの形成(1aYN プラズマ物理・核融合(プラズマ応用),プラズマ物理・核融合)
- 31a-YL-8 フラーレン-アルゴン混合プラズマの特性 : バイアス電圧の効果(31aYL 放電,放電)