28a-A-2 エピタキシアル法によるシリコン薄膜SSDの試作
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1975-09-12
著者
-
長谷川 武夫
宮崎大
-
田中 雅彦
東大・核研
-
長谷川 武夫
東大核研
-
伏見 和郎
東大核研
-
吉川 宣治
東大核研
-
松山 芳孝
東大核研
-
田中 雅彦
東大核研
-
吉川 宣治
KEK
-
松山 芳孝
高エ研
-
伏見 和郎
東京大学生産技術研究所
-
渕 好芳
東大核研
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