26aYL-12 β-NMR法によるシリコン中ホウ素のイオン植え込み位置の研究

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概要

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• 1999-09-03

著者

• 福田 光順

  埼玉大

• 福田 光順

  阪大理

• 松多 健策

  阪大理

• 泉川 卓司

  新潟大RI

• 野尻 洋一

  高知工科大

• 福田 光順

  大阪大理

• 三宅 徹

  東北大サイクロ

• 三宅 徹

  阪大理

• 南園 忠則

  阪大理

• 谷垣 実

  京大原子炉

• 佐藤 和則

  阪大産研

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