粉末ターゲットを用いたRFスパッタ法によるAl-Cu-Fe薄膜の電気伝導

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-09-13

著者

• 松尾 進

  名大情報科学

• 柏本 史郎

  北大工

• 中野 裕司

  熊大総合情報センター

• 松尾 進

  名大情文

• 中野 裕司

  名大情文

• 柏本 史郎

  名大人情

• L. Rinderer

  ローザンヌ大物理

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