1A02 SPMによるポリイミド配向膜観察(II)
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概要
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The Scanning Probe Microscope(SPM), invented bv Binnig et al. (1981), is onerable in a air, gas, liquid, or, vacuum state environment. The SPM used in the measurements was the Seiko Instruments SPI3700/SPA300 system. We wouid now like to report on study of the SPM(AFM, FFM) characteristics in relation to Polyimide Films from the viewpoint of system development.
- 日本液晶学会の論文
- 1996-09-30
著者
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