紫外・可視レーザ干渉による加工表面吸着物の評価
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概要
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For determining the presence of adsorbed material on surfaces of processed materials, an interferometer is developed using 325-nm He-Cd and 633-nm He-Ne laser sources. A measurement resolution of O.5 nm is realized by scanning the interference fringes with a translator and taking the correlation between the probe fringes and the reference fringes. From experiments with many types of materials, it is found that the interferometer can detect adsorbed material on the surfaces of materials such as metals.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-08-05
著者
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