加工表面評価のための2色干渉センサ
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概要
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This paper describes a two-color interfeorometric sensor for evaluating the surface of processed material. An interferometer, which uses 633-nm and 543-nm He-Ne lasers as light sources, is phase-locked by the 633-nm wavelength interference fringe using a proportional control technique with an actuator. In this sensor, the output signal from the 543-nm wavelength interference fringe shows the wavelength characteristics of the material refractive index and the reflectance on material. The test material is illuminated by means of a microscope objective and is scanned by a high-precision stage. From experimental results, the sensor is found to have a resolution of about 1 nm and applicable to the surfaces evaporated by Al and Au, and the titanium surface processed by N-ion beams.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-11-05
著者
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