非球面に対する干渉図形の解析法
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概要
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In the usual method of fringe analysis for aspheric surface, the difference between the test surface and the reference surface is measured by the order of fringes. But, in this method, the error can't be avoided from the approximate interpretation. By simulating the error using a certain aspheric surface, it is shown that the error can't be ignored. Then, a new method is proposed which doesn't contain the error from the approximate interpretation. In this new method, fringe density which can be obtained from interference fringe's figure is introduced as a data. This new method doesn't measures the difference between test surface and reference surface, but measures the test surface directly.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-04-05
著者
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大西 邦一
(株)日立製作所デジタルメディア開発本部DVD開発部
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大西 邦一
(株)日立製作所家電研究所
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横関 俊介
九州工業大学情報工学部機械システム工学科
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津村 徳道
大阪大 工
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津村 徳道
大阪大学工学部
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山本 高志
(株)リクルート
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横関 俊介
九州工業大学情報工学部
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