ヘテロダイン干渉法による動的変位量の測定
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概要
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Dynamic measurements in the order of nanometer by heterodyne laser interferometry for large displacements comparing them to the unitscale were studied. Two Wollaston prisms were positioned in the back to back arrangement to expand measurable displacements. Frequency dividers were used to enhance the frequency characteristics of the method effectively. Phase unwrapping which is needed in the phase-shift measurements was Carried out by using a personal computer and a kind of package software together with our own. The best figure in the present stage is 70 μm in dynamic range, and 100Hz in frequency range respectively. The method was tested in stochastics and results showed the conservative value of coefficient of variable was 1.0%.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1998-08-05
著者
-
高橋 康英
広島工大
-
高橋 康英
広島工業大学工学部知能機械工学科
-
秋月 啓作
広島工大
-
長谷川 直樹
菱光コンピュータシステム (株)
-
秋月 啓作
広島工業大学大学院
-
木曽 又一郎
三菱電機(株)系統変電・交通システム事業所
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村瀬 成一
三菱電機(株)系統変電・交通システム事業所
-
木曽 又一郎
三菱電機 (株)
-
村瀬 成一
三菱電機 (株)
-
高橋 康英
広島工大 工
-
木曽 又一郎
三菱電機(株)伊丹製作所
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