2P235微細粒子を用いたX線リソグラフィのためのマスク作製
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概要
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- 日本生物物理学会の論文
- 2001-09-10
著者
-
山下 一郎
松下電器産業(株)先端技術研究所
-
吉村 英恭
明大・理工
-
山下 一郎
松下電器先端研
-
山下 一郎
Crest Japan Science And Technology Agency
-
吉村 英恭
明大・物理
-
山下 一郎
松下電器先端技術研究所
-
前田 洋
明大・理工・物理
-
和川 明俊
明大・理工
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