SiCの特性と応用
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概要
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SiC is a fascinating material not only for a coating material but a semiconductor. It is because SiC holds its inherent properties such as a high melting point and a large band gap. The author describes the structure and the growth method of SiC crystals and then claims how attractive the material is in the viewpoint of electronic devices. SiC is on the other band too stable chemically and physically to process in manufacturing. He proposes that the laser processing in a vacuum ultraviolet region will be a key technology to SiC processing in the future.
- 明石工業高等専門学校の論文
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