真空蒸着した銅フタロシアニン薄膜の膜厚測定
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概要
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Copper plithalocyanine (CuPc) is often used in organic light emitting devices. We deposited CuPc films on silicon wafers by means of a vacuum deposition method. We then tiled to estimate film thickness using a Fourier transformed infrared spectrometer. This method is applicable when the thickness is over several μm. The obtained thickness was compared with that measured with a surface profiler and the difference between the two methods is under 44 %.
- 明石工業高等専門学校の論文
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