熱陰極直流放電プラズマによる金属表面へのSiC薄膜生成

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 神藤 正士

  静大工:静大院電子科研

• 江藤 昭弘

  静岡大学工学部技術部実験教育支援室

• 加藤 達也

  静岡大学電子科学研究科

• 山梨 秀則

  矢崎部品株式会社

• 江藤 昭弘[他]

  静岡大学工学部電気・電子工学科

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