RFスパッタリング法により作製されたa-SiOx:H薄膜の微細構造と発光機構の関係
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概要
著者
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杉村 陽
甲南大学理学部
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杉村 陽
甲南大学量子ナノテクノロジー研究所 : 甲南大学理工学部
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吉田 謙一
株式会社イオンテクノセンター
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稲田 貢
関西大学システム理工学部
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梅津 郁朗
甲南大学理工学部
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齊藤 正
関西大学システム理工学部
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吉田 謙一
甲南大学理学部応用物理学科
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稲田 貢
ハイテクリサ-チセンタ-
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梅津 郁朗
甲南大学理工学部物理学科 : 甲南大学量子ナノテクノロジー研究所
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杉村 陽
甲南大学理工学部物理学科 : 甲南大学量子ナノテクノロジー研究所
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梅津 郁朗
甲南大学
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