振動子用AT, CT, DTカット水晶素板のエッチング
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概要
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AT, CT and DT-cut quartz plates were etched in 46% hydrofluoric acid (HF) solution, 30% ammonium bifluoride (NH_4HF_2) solution and mixed solution of them. Etching rates were measured and etched surfaces were inspected with microscopes and a profile meter. The differences in etching rates are as follows : AT-cut≈CT-cut>DT-cut and HF-NH_4HF_2>HF>NH_4HF_2. The surface topography and the roughness of etched surfaces depend largely on etching conditions.
- 山梨大学の論文
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