新電極系によるフィルム試料の静電容量測定における端部効果の軽減
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概要
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In the measurement of capacitance, we usually use the three terminal electrode system for minimizing the edge effect. However, in thin films of several tens /*m in thick, it is practically impossible to eliminate an electric field distortion at the edge of main electrode. We developed a new electrode system for minimizing the edge effect. This electrode consist of a conventional three terminal electrode and a guard film with evapolated electrode, where the guard electrode is extended to cover the main electrode with the electrical insulation of the guard film.
- 沼津工業高等専門学校の論文
- 1991-01-30
著者
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