PEA法による空間電荷分布測定における数値解析
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概要
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パルス静電応力(PEA)法は,誘電体中の空間電荷分布測定に改良され広く利用されている.しかし,誘電体が2層である場合,電極や誘電体界面においてそれぞれの誘電率や音響的性質の違いが測定結果に影響を及ぼす.よって,より正確に空間電荷分布を測定するためには,電極や誘電体界面で発生した音波の伝搬について解析し・それらの影響を測定結果から取り除く必要がある・ここでは,音波の発生,伝搬に関する数値解析モデルとその手法について説明し,測定結果および数値解析の結果からその手法の有効性について考察する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-05-03
著者
-
副井 裕
鳥取大学工学部
-
長尾 雅行
豊橋技術科学大学
-
福間 真澄
国立松江工業高等専門学校電気工学科
-
和田守 美穂
松江高専情報工学科
-
和田守 美穂
松江工業高等専門学校
-
福間 眞澄
松江工業高等専門学校
-
福間 眞澄
松江高専
-
副井 裕
鳥取大学 工学部
-
福間 真澄
松江工業高等専門学校
-
和田守 美穂
松江工高専
-
副井 裕
鳥取大学
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