Pulsing a Low Pressure rf Plasma
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概要
著者
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Smith H.b.
Space Plasma And Plasma Processing Plasma Research Laboratory Rs Phys Se The Australian National Uni
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Charles C.
*Nissin Electric Co., LTD., R & D Division, 47 Umezu-Takase-Cho, Ukyo-ku, Kyoto 615, Japan
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Charles C.
*nissin Electric Co. Ltd. R & D Division 47 Umezu-takase-cho Ukyo-ku Kyoto 615 Japan