定常大電流 TPD 型プラズマ源の開発
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概要
著者
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岸本 茂
Electrical Engineering Department Nagoya University
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犬竹 正明
筑波大学
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犬竹 正明
名古屋大学プラズマ研究所
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勝俣 五男
大阪市立大学原子力基礎研究所
-
勝俣 五男
大阪市大原研
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