ワイドバンドギャップ半導体用NドープAlSiO膜の特性評価

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概要

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• 2008-06-06

著者

• 杉野 隆

  大阪大学 工学部

• 木村 千春

  大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻

• 青木 秀充

  大阪大学 大学院工学研究科

• 小松 直佳

  大阪大学 大学院工学研究科

• 田中 裕崇

  大阪大学 大学院工学研究科

• 松之内 恵子

  大阪大学 大学院工学研究科

• 奥村 幸彦

  舞鶴高専 専攻科

• 木村 千春

  大阪大学 大学院工学研究科

• 杉野 隆

  大阪大学 大学院工学研究科

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