高真空スパッタ法で作製されたCoバリア層付きトレンチへの超臨界CO_2法によるCu埋め込み
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概要
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- 2012-05-20
著者
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斉藤 茂
東京理科大学工学部
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大竹 勝人
東京理科大学
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斉藤 茂
東京理科大学
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大野 泰典
東京理科大学
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伊藤 勝利
東京理科大学
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沼川 智則
東京理科大学
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上打田内 康太
東京理科大学 工学部 電気工学科
-
伊藤 勝利
東京理科大学 工学部 電気工学科
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