選択的トレンチフィリングCuめっきによる配線形成プロセス

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概要

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• 2011-11-01

著者

• 吉田 博史

  (株)日立製作所 日立研究所 電子材料研究部

• 中野 広

  (株) 日立製作所日立研究所

• 鈴木 斉

  (株) 日立製作所日立研究所

• 端場 登志雄

  (株) 日立製作所日立研究所

• 吉田 博史

  (株) 日立製作所日立研究所

• 珍田 聡

  (株) 日立電線

• 赤星 晴夫

  (株) 日立製作所日立研究所

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