インプロセスモニタリングを用いたCO_2レーザによるVIAホールの高信頼加工技術
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概要
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- 2012-01-01
著者
-
宮本 勇
大阪大学
-
宮本 勇
大阪大学大学院工学研究科生産科学専攻
-
田中 健一郎
松下電工
-
久保 雅男
松下電工 電子材料r&dセ
-
久保 雅男
パナソニック電工
-
田中 健一郎
パナソニック電工 (株)
-
内田 雄一
パナソニック電工株式会社新規商品創出技術開発部
-
田中 健一郎
パナソニック株式会社 エコソリューションズ社 デバイス開発センター
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