SC-CO_2を用いた半導体ウェット洗浄用過酸化水素水の製造
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-10-11
著者
-
川崎 慎一朗
独立行政法人 産業技術総合研究所 コンパクト化学プロセス研究センター
-
畑田 清隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 コンパクト化学プロセス研究センター
-
鈴木 明
独立行政法人 産業技術総合研究所 コンパクト化学プロセス研究センター
-
田中 富士夫
三徳化学工業株式会社
-
田中 富士夫
三徳化学工業(株)
-
畑田 清隆
産業技術総合研究所 コンパクト化学プロセス研究センター
-
鈴木 明
産業技術総合研究所 コンパクト化学プロセス研究センター
-
柴田 健一
三徳化学工業(株)
-
川崎 慎一朗
産業技術総合研究所
-
鈴木 明
産業技術総合研
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