高周波バイアススパッタにおけるDLC薄膜/基材界面の構造変化と耐磨耗特性
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概要
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- 2010-08-01
著者
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光田 好孝
東大生研
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光田 好孝
東京大学生産技術研究所
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光田 好孝
東大 生産技研
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光田 好孝
東京大学 生産技術研究所
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野瀬 健二
東京大学 生産技術研究所
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森久 祐弥
東京大学 生産技術研究所
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佐々木 勇斗
東京大学 生産技術研究所
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野瀬 健二
東大生研
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